AGÖ±ÓªµÚÒ»Æ·ÅÆ¼¯ÍÅÓÚ1994Ä꽨ÉèЧÀÍ´¦£¬2007ÄêÉîÛÚA¹ÉÉÏÊС£¼ÃÄÏ¡¢¹ãÖÝ¡¢ÄϾ©¡¢ÖØÇì·Ö¹«Ë¾Ïà¼ÌÉèÁ¢£¬×Ó¹«Ë¾Õ㽺ºÉù¡¢ÉϺ£¿Âï¡¢Ïã¸ÛAGÖ±ÓªµÚÒ»Æ·ÅÆ¡¢Ô½ÄÏAGÖ±ÓªµÚÒ»Æ·ÅÆ¡¢º«¹úAGÖ±ÓªµÚÒ»Æ·ÅÆ¡¢Õ㽿ÂÃ¯Â½Ðø½¨Éè¡£ÕâÒ»ÇÐÌåÏÖÁËAGÖ±ÓªµÚÒ»Æ·ÅÆÈË27ÄêÀ´Óú¹Ë®ÐÁÇÚ¸û×÷µÄЧ¹û¡£
¿çÔ½27ÄêµÄÀúÊ·£¬¿ªÆôÈ«ÇòÐÔÆóÒµÐÂδÀ´
ÓÃ;£º
Load Lock¡¢Transfer¡¢Metrology¡¢PVD¡¢Etch¡¢Ashing¡¢Litho¡¢Implant
ÌØµã£º
ÂÌɫ֯Ô졢ȫÐÂϵÁиÉÊ½Õæ¿Õ±Ã
Ìå»ýС¡¢ºÄ¹¦µÍ¡¢´ó·ù¶È½µµÍ±¾Ç®
ÓÃÓÚÖжÈÑÏ¿ÁÖÆ³ÌµÄ½ÚÄܱÃ

²úÆ·Ñù±¾ºÍÊÖÒÕÊÖ²á
Ãû³Æ
Ðû²¼Ê±¼ä
ÏÂÔØ
²úÆ·Íâ¹Ûͼ
Ãû³Æ
Ðû²¼Ê±¼ä
ÏÂÔØ